使用白光干涉儀過程中的疑問
2021-11-25 18:20:05|
來源：網(wǎng)絡(luò) 作者：
1、問：測量到最小尺寸能否達到12ΜM ，或者能夠測到更小尺寸？ 答：可以 ，垂直分辨率是 0.1 nm， XY分辨率依物鏡而有不同分辨率，垂直掃描范圍是150μm ，x、y測量行程超過100mm。 2、問：載物臺的尺寸一般是多大？測量最大高度是多大范圍？Z軸測量的最高精度是多少？ 答：手動載物平臺的尺寸：XY：150mm x 100mm Tip/Tilt：±3°PZT 掃瞄器的行程為150 μm ，故最大可能量測范圍是150μm ， 但請須考慮到載物臺，超過150μm ，可以視具體情況加高定做。Z 軸的運動精度在2個μm ，其每一步的掃描精度在75nm。 3、問：投影掃描出來的圖形能夠一張張的圖片拼成一個整體的物件圖形？能否做到無縫連接？能否進行三維圖形整合？ 答：可以的，我司掃描出來的圖形通過另一款分析軟件可將掃描出的圖形做到無縫拼接，而掃描出的圖形本身就有二維和三維的，所以三維圖形整合也是沒問題，我們把這個叫做圖形縫紉。 4、問：運用平臺的移動跳動精度（重復(fù)精度）什么范圍？三軸線性精度范圍？ 答：SIS-1200機型因是手動平臺，故沒有辦法提供精確的移動再現(xiàn)性(人的手沒辦法每次都有精確的重復(fù)移動)三軸的運動精度分別為 X、Y軸5個μm ，Z軸在2個μm。 5、問：能否配有標準目鏡？ 答：目鏡：以CCD取代目鏡，故沒有目鏡，但可以直接從計算機屏幕上看到影像。 物鏡：請查看敝公司提供給貴公司的物鏡清單，客戶可以加購其他的鏡頭。 6、問：測量標準件是什么依據(jù)？有何驗收方式？那些國際標準可送的檢驗標準件？ 答：敝公司有標準片做為校正依據(jù)。 7、問：驗收方式：確認設(shè)備的量測性能規(guī)格(依標準片量測) 答：1sigma(同點量測20 次) 規(guī)格數(shù)字(一般是1 sigma 10nm 或是 3 sigma，簡單的判定一般都是設(shè)備調(diào)試OK后，測量標準塊20次，其重復(fù)性在10個nm 8、問：白光干涉儀為何如此昂貴？ 答：白光干涉儀是測量達到納米級的設(shè)備，目前世界上沒有幾家能夠研發(fā)生產(chǎn)，它對生產(chǎn)試驗環(huán)境都有很高的要求，而且設(shè)備有許多高精度的核心部件。您想一想，1000個納米才是一個微米，所以如果要加工出這樣的設(shè)備，無論從硬件還是軟件上，難度是可想而知的。 9、問：安裝和使用環(huán)境有特別要求嗎？ 答：溫度：20 oC+/-1；濕度：39% +/- 4%；噪音：75DB；電壓：220V；電流：MAX3A，正常2A。 10、問：白光干涉儀和激光干涉儀有何區(qū)別？ 答：有一點您應(yīng)該知道，就是說無論是激光干涉儀還是白光干涉儀，他們利用的都是光的干涉原理，從字面來理解呢，他們很重要的一個區(qū)別就是光源，那么激光和白光做光源到底有什么區(qū)別呢。 11、問：為什么有的產(chǎn)品叫作白光干涉顯微鏡？ 答：其實白光干涉顯微鏡和白光干涉儀是同一個概念，之所以叫顯微鏡是因為在我們一般的概念中，都有目鏡和物鏡，物鏡大家也知道有10倍，20倍等幾個可切換的倍率。白光干涉儀也一樣，有幾個可以切換的物鏡，所謂的目鏡其實就是CCD，再者大家也知道這種設(shè)備利用的是光的干涉原理，所以說 ，為什么有的人叫它干涉顯微鏡，有的人叫它干涉儀，實際上是一樣的。 12、問：白光干涉儀能測量三維尺寸嗎？ 答：在量程范圍內(nèi)是可以的，但白光干涉儀主要還是應(yīng)用在為尺寸產(chǎn)品的微觀量測，包括表面粗糙度，表面輪廓，高度，長寬等檢測。 13、問： 該設(shè)備的聚焦方式為何？ 答： SIS-1200plus是手動調(diào)焦，SIS-2000在不同對象時也是由人控制聚焦（自動對焦行程只有150μm），但如果多次相同性對象，機臺可teaching自動到設(shè)定的點位，所以自動機的優(yōu)勢在相同的固定產(chǎn)品量測。 14、問：該設(shè)備 平面測量的精度為何，重復(fù)性是多少？ 答： 平面測量的重復(fù)性是base在高度標準片下，1個sigma 小于10nm，而精度則在0.75%內(nèi)。 15、問：該系列產(chǎn)品垂直掃描范圍有多大？ 答： SIS-2000和SIS-1200的垂直掃描范圍是0.2μm到150μm。 16、問：測量樣品的表面反射情況對測量有影響嗎，有無具體數(shù)字上的界限？ 答：正常情況下是不太有影響的，最好還是拿sample回來試，我們也是有遇到全無反射光而無法量測的情況。 17、問：花崗巖下面為何是氣浮式的？ 答：是為了隔離震動，因為這種設(shè)備您知道他是納米級的，所以任何一點小的震動，都可能對測量的數(shù)據(jù)有影響，而這種微小的差異肉眼是察覺不到的。（最好再簡單強調(diào)一下氣浮隔離震動的原理） 18、問：該設(shè)備的核心部件是自己生產(chǎn)的嗎？ 答：我們的光學(xué)部分是日本NIKON，而目前日本NIKON的光學(xué)精密部件大家知道是世界上做的最好的，而整個機器的設(shè)計，組裝，控制電氣部分，軟件全部由韓國SNU自己研發(fā)完成，在對設(shè)備的應(yīng)用及解決行業(yè)內(nèi)的問題，SNU無疑是首屈一指的。
